2024-10-16 03:13:37
德國:T.Gddenhenrich等研制了電容式位移控制微懸臂原子力顯微鏡。在PTB進行了一系列稱為1nm級尺寸精度的計劃項目,這些研究包括:①.提高直線和角度位移的計量;②.研究高分辨率檢測與表面和微結(jié)構之間的物理相互作用,從而給出微形貌、形狀和尺寸的測量。已完成亞納米級的一維位移和微形貌的測量。中國計量科學研究院研制了用于研究多種微位移測量方法標準的高精度微位移差拍激光干涉儀。中國計量科學研究院、清華大學等研制了用于大范圍納米測量的差拍法―珀干涉儀,其分辨率為0.3nm,測量范圍±1.1μm,總不確定度優(yōu)于3.5nm。中國計量學院朱若谷提出了一種能補償環(huán)境影響、插入光纖傳光介質(zhì)的補償式光纖雙法布里―珀羅微位移測量系統(tǒng),適合于納米級微位移測量,可用于檢定其它高精度位移傳感器、幾何量計量等。通過納米力學測試,可以測量材料的硬度、彈性模量、粘附性等關鍵參數(shù)。安徽納米力學測試模塊
納米云紋法,云紋法是在20世紀60年代興起的物體表面全場變形的測量技術。從上世紀80年代以來,高頻率光柵制作技術已經(jīng)日趨成熟。目前高精度云紋干涉法通常使用的高密度光柵頻率已達到600~2400線mm,其測量位移靈敏度比傳統(tǒng)的云紋法高出幾十倍甚至上百倍。近年來云紋法的研究熱點已進入微納尺度的變形測量,并出現(xiàn)與各種高分辨率電鏡技術、掃描探針顯微技術相結(jié)合的趨勢。顯微幾何云紋法,在光學顯微鏡下通過調(diào)整放大倍數(shù)將柵線放大到頻率小于40線/mm,然后利用分辨率高的感光膠片分別記錄變形前后的柵線,兩種柵線干涉后即可獲得材料表面納米級變形的云紋。安徽納米力學測試模塊摩擦學測試在納米力學領域具有重要地位,為減少能源損耗提供解決方案。
較大壓痕深度1.5 μ m時的試驗結(jié)果,其中納米硬度平均值為0.46GPa,而用傳統(tǒng)硬度計算方法得到的硬度平均值為0.580GPa,這說明傳統(tǒng)硬度計算方法在微納米硬度測量時誤差較大,其原因就是在微納米硬度測量時,材料變形的彈性恢復造成殘余壓痕面積較小,傳統(tǒng)方法使得計算結(jié)果產(chǎn)生了偏差,不能正確反映材料的硬度值。圖片通過對不同載荷下的納米硬度測量值進行比較發(fā)現(xiàn),單晶鋁的納米硬度值并不是恒定的, 而是在一定范圍內(nèi)隨著載荷(壓頭位移)的降低而逐漸增大,也就是存在壓痕尺寸效應現(xiàn)象。圖3反映了納米硬度隨壓痕深度的變化。較大壓痕深度1μm時單晶鋁彈性模量與壓痕深度的關系。此外,納米硬度儀還可以輸出接觸剛、實時載荷等隨壓頭位移的變化曲線,試驗者可以從中獲得豐富的信息。
AFAM 的基本原理是利用探針與樣品的接觸振動來對材料納米尺度的彈性性能進行成像或測量。AFAM 于20 世紀90 年代中期由德國薩爾布呂肯無損檢測研究所的Rabe 博士(女) 首先提出,較初為單點測量模式。2000 年前后,她們采用逐點掃頻的方式實現(xiàn)了模量成像功能,但是成像的速度很慢,一幅128×128 像素的圖像需要大約30min,導致圖像的熱漂移比較嚴重。2005 年,美國**標準局的Hurley 博士(女) 采用DSP 電路控制掃頻和探針的移動,將成像速度提高了4~5倍(一幅256×256 像素的圖像需要大約25min)。在納米尺度上,材料的力學性質(zhì)往往與其宏觀尺度下的性質(zhì)有明顯不同,因此納米力學測試具有重要意義。
納米力學測試儀,納米力學測試儀是用于測量納米尺度下材料力學性質(zhì)的專屬設備。納米力學測試儀可以進行納米級別的壓痕測試、拉伸測試和扭曲測試等。它通常配備有納米壓痕儀、納米拉曼光譜儀等附件,可以實現(xiàn)多種力學性質(zhì)的測試。納米力學測試儀的使用需要在納米級別下進行精細調(diào)節(jié),并確保測試精度和重復性。它普遍應用于納米材料的強度研究、納米薄膜的力學性質(zhì)測試及納米器件的力學性能等方面。綜上所述,納米尺度下材料力學性質(zhì)的測試方法多種多樣,每種方法都有其獨特的優(yōu)勢和適用范圍。通過納米力學測試,可評估納米材料在極端環(huán)境下的可靠性。安徽納米力學測試模塊
在進行納米力學測試時,需要選擇合適的測試方法和參數(shù),以確保測試結(jié)果的準確性和可靠性。安徽納米力學測試模塊
微納米材料力學性能測試系統(tǒng)可移動范圍:250mm x 150mm;步長分辨率:50nm;Encoder 分辨率:500nm;較大移動速率:30mm/S;Z stage。可移動范圍:50mm;步長分辨率:3nm;較大移動速率:1.9mm/S。原位成像掃描范圍。XY 方向:60μm x 60μm;Z 方向:4μm;成像分辨率:256 x 256 像素點;掃描速率:3Hz;壓頭原位的位置控制精度:<+/-10nm;較大樣品尺寸:150mm- 200mm。納米壓痕試驗:測試硬度及彈性模量(包括隨著連續(xù)壓入深度的變化獲得硬度和彈性模量的分布)以及斷裂韌性、蠕變、應力釋放等。 納米劃痕試驗:獲得摩擦系數(shù)、臨界載荷、膜基結(jié)合性質(zhì)。納米摩擦磨損試驗 :評價抗磨損能力。在壓痕、劃痕、磨損前后的SPM原位掃描探針成像: 獲得微區(qū)的形貌組織結(jié)構。安徽納米力學測試模塊